อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ต้องการส่วนประกอบที่สามารถทำงานได้อย่างแม่นยำ สะอาด และมีความเสถียรในระยะยาวภายใต้สภาวะที่ทวีความรุนแรงมากขึ้น JINPAT LPT วงแหวนสลิปเพลาแบบกลวงได้รับการพัฒนาขึ้นโดยเฉพาะสำหรับความท้าทายเหล่านี้ โดยนำเสนอการส่งผ่านแบบหมุนที่เชื่อถือได้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและสุญญากาศสูง ซึ่งมักพบในอุปกรณ์ประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ด้วยการออกแบบที่ให้ความสำคัญกับความทนทาน การควบคุมการปนเปื้อน และประสิทธิภาพทางไฟฟ้า ซีรีส์ LPT รองรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลกในการรักษาคุณภาพการผลิตที่สม่ำเสมอ
ตัวเรือนสแตนเลสสตีลของวงแหวนสลิป ซึ่งทำจาก SUS304 ให้ความทนทานต่อความเครียดจากความร้อนและการเสียรูปทางกล ภายในตัวเครื่อง วงแหวนนำไฟฟ้าโลหะผสมอุณหภูมิสูงและหน้าสัมผัสคอมโพสิตโลหะมีค่าช่วยให้มั่นใจได้ถึงสัญญาณที่เสถียรและการส่งผ่านพลังงาน แม้ในระหว่างการทำงานเป็นเวลานานที่อุณหภูมิสูงกว่า 200°C โครงสร้างภายในได้รับการออกแบบมาเพื่อการจัดการความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพ ลดการขยายตัวและรักษาเสียงรบกวนทางไฟฟ้าให้ต่ำตลอดวงจรการผลิต
ความเข้ากันได้กับสุญญากาศเป็นอีกหนึ่งคุณสมบัติที่กำหนดของซีรีส์ LPT กระบวนการเซมิคอนดักเตอร์อาศัยสภาพแวดล้อมสุญญากาศที่ควบคุมอย่างเข้มงวด ซึ่งต้องลดการปนเปื้อนให้ใกล้เคียงศูนย์ เพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐานเหล่านี้ วงแหวนสลิปจึงมีการออกแบบที่แห้งและปราศจากสารหล่อลื่น ขจัดความเป็นไปได้ในการปล่อยไอระเหยของน้ำมัน ระบบซีลหลายขั้นตอนและวัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำช่วยรักษาความแน่นหนาของอากาศได้ดีเยี่ยม นอกจากนี้ การออกแบบที่ปราศจากไอออนทองแดงยังช่วยป้องกันการปนเปื้อนของโลหะ ซึ่งเป็นข้อได้เปรียบที่สำคัญในการผลิตแผ่นเวเฟอร์และกระบวนการอื่นๆ ที่ละเอียดอ่อน
วงแหวนสลิปเพลาแบบกลวง LPT ถูกนำไปใช้อย่างประสบความสำเร็จในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย การผสมผสานระหว่างความทนทานต่อความร้อน ความเสถียรทางกล และความสะอาดของสุญญากาศทำให้ได้รับการยอมรับอย่างสูงในหมู่ผู้ผลิตอุปกรณ์ที่กำลังมองหาโซลูชันการส่งผ่านที่เชื่อถือได้และมีอายุการใช้งานยาวนาน ไม่ว่าจะรวมเข้ากับระบบจัดการแผ่นเวเฟอร์ โมดูลตรวจสอบ หรืออุปกรณ์หมุนสุญญากาศ ซีรีส์ LPT มีส่วนช่วยในการปรับปรุงเสถียรภาพในการดำเนินงานและความน่าเชื่อถือของกระบวนการ
เนื่องจากเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ยังคงก้าวหน้า ความต้องการอุปกรณ์จะยิ่งเข้มงวดมากขึ้น JINPAT ยังคงมุ่งมั่นที่จะสนับสนุนผู้ผลิตทั่วโลกด้วยการพัฒนาโซลูชันวงแหวนสลิปประสิทธิภาพสูงที่สร้างขึ้นจากวัสดุขั้นสูง วิศวกรรมที่แม่นยำ และมาตรฐานการควบคุมการปนเปื้อนที่เข้มงวด ซีรีส์ LPT แสดงถึงความมุ่งมั่นนี้ โดยนำเสนออินเทอร์เฟซแบบหมุนที่แข็งแกร่งและเชื่อถือได้ ซึ่งออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก